噴霧熱解成膜系統技術基本原理是將含有成膜成分的前驅體物質制成溶液，然后在高壓下使其霧化，噴射到預熱的基材上，發生分解反應，得到想要的薄膜材料；常用的高壓源通常為壓縮的空氣、氧氣、氮氣、氫氣等；